發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟的今天，對于氯化氫等眾多化工副產(chǎn)物的回收再利用是非常重的一環(huán)。那么在三氯氫硅的生產(chǎn)中，氯化氫的回收循環(huán)也是重點(diǎn)。

    未被冷凝下來(lái)的氯化氫、氫氣、氯氣返回氯化氫合成系統，氫氣與氯氣按一定比例混合，燃燒生成氯化氫，循環(huán)使用。
    采用綜合回收方法使合成工序開(kāi)路工藝流程變?yōu)殚]路循環(huán)，提高原材料利用率，降低了原材料單耗，實(shí)現了無(wú)廢氣排出，徹底解決了環(huán)境污染問(wèn)題。但是，尾氣中含有的微量氯硅烷容易與氯化氫中的水反應生成固體二氧化硅堵塞管道，降低三氯氫硅的收率。

    此方法因其原材料氯化氫的強吸水性，在運行過(guò)程中可能會(huì )遇到其他的問(wèn)題，所以，不是最好的處理方式。