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電子工業(yè)對氯化氫的新要求

返回  打印  發(fā)布時(shí)間:2013-11-5 點(diǎn)擊:10065

    現在電子行業(yè)也成為一個(gè)熱門(mén)的行業(yè),正向著(zhù)高集成化、高完整性發(fā)展。電子行業(yè)的制造需要氯化氫的參與,因為電子行業(yè)的要求提高了,所以氯化氫的使用要求也提高了,我們一起來(lái)看一下電子行業(yè)對氯化氫的新要求。

    電子級氯化氫是指純度高于99.999%的高純度氯化氫氣體。除了對純度要求較高以外,對氯化氫氣體的品質(zhì)要求也非常嚴格。

    隨著(zhù)微電子工業(yè)向著(zhù)大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發(fā)展,對廣泛用于單晶硅氣相拋光和外延機座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除了應具有99.999%以上的純度,還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機雜質(zhì)的含量越低越好。
    電子級氯化氫主要用于外延生長(cháng)前硅和砷化鎵高溫氣相刻蝕,清除鈉離子。另外高純氯化氫也用于金屬表面化學(xué)處理,激光用混合氣、膠片生產(chǎn)及碳纖維表面處理。過(guò)去我國大多從美、日等國進(jìn)口電子級氯化氫,但近年來(lái),我國電子工業(yè)所需的化學(xué)氣體的研制,在技術(shù)上已有不少突破和發(fā)展。

    從以上介紹來(lái)看我們電子所需的氣體在近幾年已經(jīng)有了很大的發(fā)展,同時(shí)北京華宇同方在很大程度上填補了電子級氯化氫的空白。言赫特氣直屬于北京華宇同方,所以我們的質(zhì)量您絕度放心,是您值得信賴(lài)的一家公司。

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