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中國氯化氫技術(shù)的領(lǐng)導者
北京華宇同方化工科技開(kāi)發(fā)有限公司是1999年注冊于北京中關(guān)村高科技園區的高新科技企業(yè),其目的是推廣應用本公司發(fā)明的十余項國內外授權專(zhuān)利。目前推廣的主要新產(chǎn)品有,高
純氯化氫和沸石催化劑;主要新技術(shù)有催化精餾技術(shù)和芳烴烷基化工藝。本公司生產(chǎn)的沸石催化劑是種錄色環(huán)保產(chǎn)品,達到國際先進(jìn)水平,已成功的應用于國內大型石化企業(yè),具有顯著(zhù)的
經(jīng)濟效益和社會(huì )效益。本公司生產(chǎn)的高純氯化氫的性能指標與國外同類(lèi)產(chǎn)品相當,填補了我國電子級氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白,目前已廣泛應用于集成電路芯片制造業(yè)、硬質(zhì)合金制造業(yè)、醫
藥化工制造業(yè),并批量遠銷(xiāo)于韓國及東南亞一帶。本公司的特點(diǎn)是產(chǎn)品質(zhì)量高,價(jià)格低,售后服務(wù)好。
本公司具有較強的技術(shù)開(kāi)發(fā)力量,現有教授4人,高級工程師5人,其他工程技術(shù)人員10人。建有設備完善的中心實(shí)驗室,高純氯化氫生產(chǎn)基地,沸石催化劑生產(chǎn)基地。分別負責技術(shù)
開(kāi)發(fā)、氯化氫和催化劑的生產(chǎn)。根據市場(chǎng)需求,氯化氫設備的現有生產(chǎn)能力為100噸/年。
5N電子級氯化氫產(chǎn)品的純度高達99.999%,總雜質(zhì)含量小于5ppm,符合企業(yè)標準Q/HDHYF001-2003。它是單晶硅片氣相拋光、基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝的重要輔助材料。尤其其中水
及有機物的含量對單晶硅片的精密加工和芯片的壽命具有極大影響。本公司生產(chǎn)的5N電子級氯化氫產(chǎn)品的露點(diǎn)小于-80℃,水含量小于0.5ppm。有機物為輕烴類(lèi),THC<0.5ppm,且不含一氧
化碳、二氧化碳等有害雜質(zhì)。就此而言,本公司的產(chǎn)品遠優(yōu)于國外同類(lèi)產(chǎn)品的性能,尤其優(yōu)于國內分裝產(chǎn)品。
本公司生產(chǎn)電子級氯化氫所采用的原料為石化產(chǎn)品的副產(chǎn)品,其特點(diǎn)是水含量很低,便于提純加工,對所需設備的材質(zhì)要求不高。但其中含有難以脫除的乙炔氣,這就需要特種性能
的催化劑。本公司在催化劑及催化技術(shù)開(kāi)發(fā)方面具有獨特的技術(shù)。經(jīng)5年的努力,開(kāi)發(fā)出適用的催化劑,它可使氯化氫中1000ppm的乙炔經(jīng)反應下降至0.1ppm以下。從而保證了氯化氫中的THC
<0.4ppm。另外,本公司氯化氫的生產(chǎn)工藝采用了高效填料及特殊結構的精餾塔,并采用了具有特色的鋼瓶處理方法,保證了瓶裝產(chǎn)品的水含量小于0.5ppm。使得本公司產(chǎn)品的質(zhì)量大大優(yōu)
于國外同類(lèi)產(chǎn)品的質(zhì)量。同時(shí),本公司獲得了"一種制備電子級氯化氫的方法"的授權專(zhuān)利,具有自主知識產(chǎn)權。瓶裝產(chǎn)品經(jīng)國家標準物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專(zhuān)用材料質(zhì)量監督檢測中心
抽樣檢驗,純度大于99.999%,雜質(zhì)總含量小于5ppm。2003年10月通過(guò)北京市科委科技成果技術(shù)鑒定。會(huì )議認為,本工藝采用特效催化反應、高效精餾和特種裝置設備等技術(shù)研制出電子級氯
化氫產(chǎn)品。技術(shù)路線(xiàn)科學(xué)、合理、先進(jìn),工藝參數穩定;原料來(lái)源充足,供應可靠,生產(chǎn)線(xiàn)裝置運行連續穩定,符合環(huán)保要求;產(chǎn)品主要技術(shù)指標具有可靠的檢測手段;產(chǎn)品主要性能指標
與國外同類(lèi)產(chǎn)品相當,填補了我國電子級氯化氫產(chǎn)品生產(chǎn)的空白,實(shí)現了電子級氯化氫產(chǎn)品的國產(chǎn)化。這對我國新興電子產(chǎn)業(yè)制造業(yè)及其相關(guān)行業(yè)的發(fā)展具有較大的社會(huì )意義和經(jīng)濟意義。
兩年多來(lái),經(jīng)國內外多家用戶(hù)在單晶硅片氣相拋光、基座腐蝕和硬質(zhì)合金鍍膜工藝中使用證明,本公司產(chǎn)品的技術(shù)性能及其產(chǎn)品的規格性能均與國外產(chǎn)品相當。
近幾年,本公司在降低水含量方面采取了一系列措施。經(jīng)分析發(fā)現,精餾塔采出產(chǎn)品的水含量小于0.3ppm,但罐裝于鋼瓶?jì)鹊漠a(chǎn)品水含量則可達0.7ppm,甚至更高。究其原因在于產(chǎn)
品罐裝過(guò)程中鋼瓶更換以及鋼瓶處理時(shí)引入的空氣水。這種水附著(zhù)在管壁上,難以用抽空的方法徹底排除。為此,首先采用了本公司發(fā)明的專(zhuān)利截止閥,保證更換鋼瓶時(shí)匯流排及其連接軟
管不與大氣相通;其次在鋼瓶選用、瓶閥結構及鋼瓶處理上采取了嚴格而特殊的措施,盡可能降低鋼瓶殘留水的影響,保證了瓶裝產(chǎn)品的水含量小于0.5ppm。
目前,國內應用的5N電子級氯化氫產(chǎn)品主要由美國道化學(xué)公司提供,經(jīng)由國內外幾家氣體經(jīng)銷(xiāo)商分裝后供應市場(chǎng),主要性能指標如下:
純度:99.999%;
雜質(zhì)含量:N2≤2.0ppm,O2≤1.0ppm,H2O≤1.0ppm,CO≤1.0ppm,
CO2≤2.0ppm,THC≤1.0ppm。
目前,本公司批量供應市場(chǎng)的氯化氫產(chǎn)品有如下四種:
(1) 5.0 N,純度>99.999%; (2) 4.8 N,純度>99.998%;
(3) 3.0 N,純度>99.9%; (4) 2.8N,純度>99.8%。
本公司氯化氫產(chǎn)品采用氯化氫專(zhuān)用鋼瓶(符合國標GB5099或DOT 3AA標準)包裝,有25kg、27kg兩種規格,應用316L不銹鋼抗腐蝕隔膜式瓶閥,CGA330標準接口。
本公司尚可為客戶(hù)提供各種型號規格的氯化氫專(zhuān)用減壓器、調節閥、截止閥以及成套氯化氫供氣裝置。
2001年全公司各產(chǎn)品通過(guò)ISO9001:2000質(zhì)量管理體系認證,保證了產(chǎn)品質(zhì)量的連續穩定和持續改進(jìn)。
本公司秉承"誠信為本、顧客至上"的經(jīng)營(yíng)理念,堅持"科學(xué)經(jīng)營(yíng)、安全經(jīng)營(yíng)、合法經(jīng)營(yíng)"的經(jīng)營(yíng)方針,以科技領(lǐng)先和強化管理為手段,鍛造技術(shù)一流、人才一流、質(zhì)量一流、服務(wù)一流
的科技開(kāi)發(fā)公司。