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現在電子工業(yè)用氣(氨氣、氯化氫、四氟化碳)已經(jīng)告別進(jìn)口
高純氨氣(NH3)是電子工業(yè)中氮化膜的成膜氣體。高純氨氣跟硅烷、高純氬氣(Ar)用于薄膜太陽(yáng)能電池的制造,也用于LED電子行業(yè)。氨氣具有強腐蝕性和毒性,而且具有刺激性臭味,易溶于水。
在目前,國產(chǎn)高純氨氣已經(jīng)占到國內市場(chǎng)需求的一大半,相信以后會(huì )完全取代國外氣體公司滿(mǎn)足中國在IC、LED、太陽(yáng)能電池等領(lǐng)域的需求。
高純四氟化碳(CF4) ,目前四氟化碳主要應用于微電子工業(yè)中的等離子蝕刻,廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢膜材料的銹蝕。同時(shí)也應用于電子元件的清洗。四氟化碳又叫做四氟甲烷,是一種鹵代烴。無(wú)色、無(wú)臭、不可燃,揮發(fā)性較高。是最穩定的有機化合物之一。
目前可以生產(chǎn)純度達99.999%的高純四氟化碳,產(chǎn)量基本可以滿(mǎn)足珠江三角洲地區電子工業(yè)的需求。
高純氯化氫(HCL),主要應用于大規模集成電路單晶硅片氣相拋光,外延機座腐蝕等。氯化氫是一種無(wú)色有刺激性氣味的氣體。易溶于水(遇水是有強腐蝕性)。遇氰化物產(chǎn)生劇毒性氣體氰化氫。目前高純氯化氫已經(jīng)可以滿(mǎn)足國內市場(chǎng)的需求。
隨著(zhù)國內氣體企業(yè)對電子氣體的重視,國內氣體公司在技術(shù)方面也漸漸的追上了國外氣體公司。涌現出了一批具有創(chuàng )新性和活力的氣體公司。我們淄博言赫特氣經(jīng)營(yíng)氯化氫氣體已經(jīng)多年,獲得了很多客戶(hù)的好評,也希望我們可以成為很好的合作伙伴!